质量流量控制器
产品内容
MFM-50系列气体质量流量计专门用于气 体 流 量 的 高 精 度 测 量 。该 系 列 流 量 计 采 用业 内 先 进 流 量 传 感 芯 片，结 合 航 空 铝 材 抛 光气 体 流 道 设 计，配 合 公 司 核 心 的 标 定 和 补 偿算 法，实 现 对 各 类 清 洁、干 燥 和 无 腐 蚀 性 气 体的 高 精 度 流 量 测 量 。该 产 品 2 0 S L M 以 内 典 型精 度 为 1 %，5 0 S L M 典 型 精 度 为 1 . 5 %，量 程比 均 优 于 1 0 0 : 1 ，此 系 列 产 品 的 量 程 从1 0 0 S CC M 到 8 0 0 S L M 可 选（其 它 量 程 可 咨 询 定制），并配有液晶屏显示、数字和模拟输出，方 便 用 户 现 场 和 远 程 调 试 。该 产 品 成 本 低、易安装、不需要额外温度和压力补偿 。实验室气体流量计，氢气流量计，氦气流量计，热式气体质量流量计。
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M F C - E 系 列 质 量 流 量 控 制 器（ M a s s Flow Controller）是一款专为气体分析仪、质 谱 仪、配 气 仪 等 行 业 所 开 发 的 一 款 高 精 度、低 温 漂 、高 可 靠 性 的 气 体 质 量 流 量 控 制 器 产品 。该 产 品 配 备 有 高 精 度 流 量 传 感 器、高 端 电 磁 比 例 阀 、3 1 6 L 不 锈 钢 气 路 座 等，具 有 精 度高 、响 应 速 度 快 、稳 定 性 好 等 优 点 。操 作 使 用方 便 , 无 需 温 度 补 偿，压 力 不 敏 感 。输 出 和 控 制 信 号 包 含 ：0 - 5 V 模 拟 信 号 和 R S 4 8 5 数 字 通 信 方 式。
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青岛芯笙推出的S500系列气体质量流量控制器，以最新研制的MEMS芯片为基础，热分布更加均匀，可靠性更高；搭载全新设计的气路结构，让流量能够无视气源压力波动，保持稳定的层流状态和分流比；配备进口的高端电磁比例阀、核心标定和温补算法，可实现对气体流量的高精度控制。产品量程范围大，可测气体种类丰富，不受温度和压力影响，安装方便，可靠性高，完美适配各类应用环境。
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MFC-UT系列质量流量控制器（ Mass Flow Controller）是基于业内先进流量传感器芯片，结合高速数字处理技术和智能补偿算法，所开发的一款紧凑型的气体质量流量控制器产品 。该产品配备有高端电磁比例阀、航空级铝合金气路座、高精度微机电流量芯片 等，对比传统的气体流量控制器，本产品采用集成化设计，使得该产品的体积大幅度缩小，可以在小体积、便携式设备中发挥更大优势，更好的适用于空间要求严格的安装场景 。
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新闻内容
“十四五”期间国家科技创新部署：气体流量测控核心技术市场现状分析
气体流量是最为常规的检测物理量之一，气体流量的测量及控制在工业过程控制、半导体、光伏、燃料电池、分析仪、航空航天、医疗和科学研究等各个行业均发挥着极其重要的作用，在国计民生中的地位和研究价值也越来越高。
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青岛芯笙MFM-50系列气体质量流量计专门用于气体流量的高精度测量。该系列流量计采用业内先进流量传感芯片，结合航空铝材抛光气体流道设计，配合公司核心的标定和补偿算法，实现对各类洁净干燥、无腐蚀性气体的高精度流量测量。该产品20SLM以内典型精度为1%，50SLM典型精度为1.5%，量程比均优于100:1， 此系列产品的量程从100SCCM到800SLM可选（其它量程可咨询定制），并配有液晶屏显示、数字和模拟输出，方便用户现场和远程调试。该产品成本低、易安装、不需要额外温度和压力补偿，适用于实验室行业惰性气体计量。
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青岛芯笙微纳电子科技有限公司，是一家专业从事新型智能气体流量测控传感器芯片设计、模组和仪表开发，以及测试标定和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园，毗邻山东大学（青岛校区）、中国海洋大学、北航微电子研究院、青岛大学等著名学府。公司创始团队成员来自海外知名传感器技术研究单位、国内大型仪器仪表公司，在传感器芯片设计、模组和仪器仪表开发等方面具有丰富经验。公司与新加坡科技局微电子研究院、上海微技术工业研究院等单位建立了长期战略合作关系，与山东大学和北航微电子研究院在新型传感器芯片开发方面具有密切合作关系。
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半导体气体流量控制器选用热扩散系数原理，热扩散系数理论是一种在严苛环境下性能优良、可靠性高的专业技术。半导体气体流量控制器有两种温度感应器被放置介质中时，其中一个感应器被加热到自然环境温度以上温度，另一个温度感应器用以磁感应物质温度。流量计/控制板主要是由表层、电加热器、占比闸阀及温度传感器组成，依据加热方法及准确测量方式的不同，将流量计分成毛 细血管/热分离流量计、插入法流量计和微电子技术流量计。细微流量控制器的流量精密度可以达到满度的±1.0%,流量监控范围是满度的2~1 00%(量程比为--50:1),所以在许多行业得到广泛应用。测量和操纵流量的主要特点，是流量大小不会受到温度和压力干扰，因而无论是在正压力或是绝 对压力的情形下，商品都可以正常启动，如果用户要在绝 对压力环境下应用热式气体品质流量控制器得话，需要订购时，像业务员尤其说明一下，我的产品在出厂时，还是按照客户的具体使用需
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半导体气体流量控制器和品质流量计的较大优势就是检测出的具体数据信
半导体气体流量控制器和流量计关键的区别在于：气体品质流量控制器能够通过自身戴的闸阀做PID调整程序流程，能够自动的调节和控制阀门的开启度，来实现操纵气体的品质流量。气体品质流量计主要通过感应器，磁感应气体的流量尺寸，并导出到数据采集终端。半导体气体流量控制器和品质流量计的较大优势就是检测出的具体数据信息，不受温度和压力干扰，评测数据用户也不需要在开展温度和压力补偿的计算。品质流量控制器（MFC）由流量感应器、分路器安全通道、流量调节阀和变大控制板等组成。气体流量感应器选用毛细 血管传热温差量热法原理准确测量气体的品质流量(不用温度压力补偿)。将感应器加温电桥电路测得的流量数据信号送进放大仪变大,变大后流量检验工作电压与设置工作电压进行对比,然后将误差信号放大之后操纵调节阀，闭环控制系统穿过通道流量使其与设置的流量相同。分路器确定主通道的流量。和质量流量控制器配套流量显示仪表上设置有可调稳压
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随着科学技术的不断进步以后，各行各业也得到了很大的发展，关于半导体气体流量控制器操它的发展前景也是很不错的，所以的需求量不断增加，市面上也增加了不少的厂家，而我们作为生产商，在这里也是很有必要为大家讲述一下半导体气体流量控制器操作注意事项？，感兴趣的小伙伴可以一起来看看。我们在使用这款半导体气体流量控制器之前也有很多的问题伴随着大家，所以说想要更好地使用它，就要了解它的一些知识点。首先你要清楚的是半导体气体流量控制器是一种可以控制一定量气体的产品，特别适用于控制多道工序的流量和控制不同气体的比例。现在该产品应用范围广，工作压力范围广，我公司产品从真空到10MPa均可使用；可用于各种气态介质（包括一些腐蚀性气体如HCL）；流量范围广范围。但在使用时切记，如果半导体气体流量控制器的工作条件发生变化（如物质变化、工作温度变化较大等），则需要将仪表归零。同时仪表软管需要水平组装，并用水平仪校准。否
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山东微型热式质量流量计是利用工作流体流过外热源进行加热的管道时产生的温度场发展变化来测量流体技术质量控制流量，或利用加热流体时流体温度不断上升某一值所需的能量与流体工程质量管理之间的关系来测量流体质量数据流量的一种网络流量仪表。 山东微型热式质量流量计在国内习称量热式流量计，是利用流体流过外热源加热的管道时产生的温度场变化来测量流体质量流量，或利用加热流体时流体温度上升某一值所需的能量与流体质量之间的关系来测量流体质量流量的一种流量仪表。通常用于测量气体的质量流量。具有压损低;流量管理范围度大;高精度、高重复性和高可靠性;无可动部件设计以及可用于实现很低或者气体进行流量数据监测和控制等特点.使用被加热流体的热(或温度)的变化来测量流体的质量流量有很长的历史。早期的TMF直接将加热线圈和测温元件放入流体中与流体进行直接通过接触，是一种社会接触式流量计，由于我们不能有效解决嘴蚀和磨损情况以及
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山东微型热式质量流量计采用热测量，通过分裂分子带走的分子质量来测量流量。由于是热工测量，测量结果不会受到气体温度和压力变化的影响，山东微型热式质量流量计是一种准确、快速、可靠、稳定、灵活的流量测量仪器，将广泛应用于石油加工、化工等领域，相信它将在推动流量测量方面显示出巨大的潜力。山东微型热式质量流量计不能控制流量，只能检测液体或气体的质量流量，通过模拟电压、电流或串行通信输出流量值。然而，质量流量控制器是一种可以同时检测和控制的仪器，除了测量部分之外，质量流量控制器本身还具有电磁调节阀或压电阀，使得质量流量控制器本身构成用于控制流体质量流量的闭环系统，流量控制器的设定值可由模拟电压、模拟电流或计算机或PLC提供。山东微型热式质量流量计的故障如何处理？一、硬件故障。如果误差过大，积分仪显示不亮或增值，显示空白，原因如下：A.山东微型热式质量流量计安装不规范会直接导致流量计的零点漂移，比如山东
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在科学研究、生产过程控制、质量管理、经济核算、贸易交接等活动中所涉及的流体数量一般为质量，只有山东微型热式质量流量计测得的流体的体积流量不能满足人们的要求，通常需要尝试获得流体的质量流量。过去，流体的质量只能在测量流体的温度、压力、密度、体积等参数后，通过校正、换算、补偿来间接获得。这种测量方法中间环节多，难以保证和提高质量流量测量的精度。随着现代科学技术的发展，山东微型热式质量流量计的出现推动了流量测量技术的进步。流体在旋转管道中流动时，会对管壁产生作用力，山东微型热式质量流量计是1832年科里奥利在研究涡轮时发现的，简称科氏力。1977年，根据这一原理，研制出山东微型热式质量流量计。山东微型热式质量流量计基于科里奥利力。传感器内部有两根平行的流管，中间是驱动线圈，两端是检测线圈，当发射机提供的激励电压施加到驱动线圈时，振动管以往复循环的方式振动，工业过程中的流体介质流经传感器的振动管时
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青岛芯笙微纳电子科技有限公司
青岛芯笙微纳电子科技有限公司是一家专业从事工业智能传感器芯片设计、模组开发，以及高端计量仪表研发、制造和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园，毗邻山东大学（青岛校区）、中国海洋大学、北航微电子研究院、中科院兰化所（青岛）、青岛大学等著名学府。