青岛芯笙微纳电子科技有限公司是一家专业从事工业智能传感器芯片设计、模组开发，以及高端计量仪表研发、制造和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园，毗邻山东大学（青岛校区）、中国海洋大学、北航微电子研究院、中科院兰化所（青岛）、青岛大学等著名学府。

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气体质量流量于实验室行业中的应用

发布时间：

2022-05-12 17:44

公司简介

青岛芯笙微纳电子科技有限公司位于青岛市崂山区，毗邻山东大学青岛校区、北航青岛微电子研究院、中科院青岛能源所等研究机构，是一家专业从事高端气体流量传感器和流量测控仪表开发的高新技术企业，公司团队核心成员来自新加坡、比利时、中科院等国际著名MEMS研究机构。公司与新加坡科技局微电子研究院、上海微技术工业研究院等单位建立了长期战略合作关系，与山东大学和北航微电子研究院在新型传感器芯片开发方面具有密切合作关系。

青岛芯笙微纳电子科技有限公司获得国家发明专利和荣誉资质39项

青岛芯笙将继续专注在微小气体流量测控领域，致力于为客户提供高品质产品和专业化服务，以质量和信誉为本加强管理，为推动国产分析仪器、半导体装备的发展作出贡献。

制造和标定平台

制造平台具有80余台传感器自动化生产设备和可靠性测试设备以及9000平米千级无尘封测车间，具备ISO9001, ISO14001, IATF16949等品质管理和制造认证。

在标定和校准环节，拥有活塞标准流量装置（精度0.3%）、音速喷嘴标准流量装置（精度0.13%）、美国福禄克Molbox流量设备（精度0.125%）等多台高端设备，确保产品精度。

概述：结合国家近两年对科研、高校、研究院所等行业的持续投入，高精尖用气设备越来越多，用气量也逐年增加，对气体流量的精确计量控制需求也越来越多。青岛芯笙以独有的微机电系统（MEMS）为基础，推出多款适用于实验室领域的高性能气体质量流量计（MFM）和气体质量流量控制器（MFC）产品。

合作伙伴

PART01

实验室常用气体的分类

一、根据用途分类

一是能源动力气体。在实验室中，部分气体用来提供能源，如天然气、煤气、液化气、氢气、乙炔等，有的提供动力，如压缩空气、氮气。

二是试验用原材料。实验室常用部分气体作为试验用原材料，如化学反应实验使用的氯气、一氧化氮气体、氧气、氢气等。

三是实验仪器辅助用气。实验室中部分试验或仪器需要高纯保护气体，如气相色谱、气质联用、原子吸收、ICP等精密仪器使用的高纯不燃气体（氮气、二氧化碳）、惰性气体（氦气、氩气）、易燃气体（氢气、乙炔）、助燃气体（氧气）等。

二、依据化学性质分类

一是有毒有害气体。具有极强毒性或腐蚀性，侵入人体能引起中毒、灼伤甚至死亡，如氯气、氨气等。

二是易燃易爆气体。具有易燃烧性和化学爆炸危险性，如氢气、乙炔等，有的易燃易爆气体还具有一定毒性。

三是助燃气体。具有助燃能力，但自身不燃烧，此类气体的存在增大火灾的危险性，如氧气等。

四其他气体。不具备上述三种性质的气体，如惰性气体、二氧化碳等。

PART02

常规分析实验室仪器的一般用气配备

气相色谱：H2 N2 He Air
液相质普：N2 CDA
原子吸收：火焰法：Air+C2H2 / N20+C2H2 石墨炉法：Ar+02 / Ar+Air
VOC检测：Air Ar He
ICP-MS: (N2) Ar Air (He)
液质联用：N2
X荧光光谱仪：Ar/CH4 He
等离子发射光谱：N2 Ar
元素分析仪：O2 He
碳硫分析仪：O2 N2
测汞仪：Ar Air
测硫仪：O2
发热量测定仪：O2
离子质谱：He 离子色谱：N2
四极杆和TFO：He
生物反应器：Air CO2 O2 N2
三重四极：N2 H2
超临界荟萃：CO2
微波多态合成：N2 Ar
核磁共振仪：N2 CDA He
化学合成：CDA
球矿团还原-膨胀试验仪：N2 煤气LPG(流量较大，主管至少使用3/8”)
太阳能电池反应用气：Ar N2 He NH3 CF4 N2O H2 SiH4

SiH2CL2 SiH2CL3 SiHCL4等

青岛芯笙MFM-50系列气体质量流量计专门用于气体流量的高精度测量。该系列流量计采用业内先进流量传感芯片，结合航空铝材抛光气体流道设计，配合公司核心的标定和补偿算法，实现对各类洁净干燥、无腐蚀性气体的高精度流量测量。该产品20SLM以内典型精度为1%，50SLM典型精度为1.5%，量程比均优于100:1，此系列产品的量程从100SCCM到800SLM可选（其它量程可咨询定制），并配有液晶屏显示、数字和模拟输出，方便用户现场和远程调试。该产品成本低、易安装、不需要额外温度和压力补偿，适用于实验室行业惰性气体计量。