气体质量流量计
Gas Mass Flow Meter
质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM）， 是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。气体质量流量单位一般以sccm（Standard CubicCentimeter per Minute，每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分钟标准升）来表示。
气体质量流量计
⊙ 性能优势
拥有
防爆认证
全量程输出
稳定性好、精度高
量程比
优于100:1
响应时间
默认0.5s
重复精度
±0.2%F.S.
自带
温度补偿和压力补偿
可实现瞬时流量和累计流量切换
按键切换
其他
集成度高，体积小巧
⊙ 产品系列
MFM-50系列气体质量流量计专门用于气 体 流 量 的 高 精 度 测 量 。该 系 列 流 量 计 采 用业 内 先 进 流 量 传 感 芯 片，结 合 航 空 铝 材 抛 光气 体 流 道 设 计，配 合 公 司 核 心 的 标 定 和 补 偿算 法，实 现 对 各 类 清 洁、干 燥 和 无 腐 蚀 性 气 体的 高 精 度 流 量 测 量 。该 产 品 2 0 S L M 以 内 典 型精 度 为 1 %，5 0 S L M 典 型 精 度 为 1 . 5 %，量 程比 均 优 于 1 0 0 : 1 ，此 系 列 产 品 的 量 程 从1 0 0 S CC M 到 8 0 0 S L M 可 选（其 它 量 程 可 咨 询
定制），并配有液晶屏显示、数字和模拟输出，方 便 用 户 现 场 和 远 程 调 试 。该 产 品 成 本 低、易安装、不需要额外温度和压力补偿 。实验室气体流量计，氢气流量计，氦气流量计，热式气体质量流量计。
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青岛芯笙微纳电子科技有限公司
青岛芯笙微纳电子科技有限公司是一家专业从事工业智能传感器芯片设计、模组开发，以及高端计量仪表研发、制造和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园，毗邻山东大学（青岛校区）、中国海洋大学、北航微电子研究院、中科院兰化所（青岛）、青岛大学等著名学府。