MFC-T系列
数显式气体质量流量控制器
产品概要
- 详情介绍
- 规格参数
- 产品应用
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- 商品名称: 数显式气体质量流量控制器
- 商品编号: MFC-T系列
MFC-T系列质量流量控制器（Mass Flow Controller）是 一 款 专 为 工 业 特 气 测 控 应 用 所开 发 的 一 款 的 智 能 化 、高 精 度 气 体 流 量 控 制 器产 品，该 产 品 采 用 高 速 采 样 处 理 技 术 和 智 能 控制 算 法，并 配 备 有 高 端 电 磁 比 例 阀 、3 1 6 L 不 锈钢 气 路 座 、高 精 度 流 量 传 感 器 等，具 有 精 度 高 、响 应 速 度 快 、稳 定 性 好 等 特 点 。在 输 出 方 面，带有 工 业 级 液 晶 触 控 显 示 屏，具 备 流 量 设 置 、瞬时 流 量 和 累 积 流 量 显 示 等 功 能 。输 出 和 信 号 可选 择 ：4 - 2 0 m A 和 0 - 5 V 模 拟 信 号，以 及 RS 4 8 5 、RS232 等 数 字 通 信 方 式 。
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参数说明 介质要求 洁净干燥无腐蚀性气体 介质种类 空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等 量程 (0～10, 100, 200, 300, 500) SCCM
(0～1, 2, 3, 5, 10，20) SLM
精度 读数误差的1%或满量程误差的0.8%，二者取最大值 分辨率 最低0.01SCCM 响应时间 ≤0.7S 重复精度 ±0.2%F.S 线性 ±0.5%F.S 环境条件 工作温度 0~50℃ 工作湿度 10%~90%RH（无结冰，无凝露） 工作压力 ≥ 2L/min 0-4 bar
＜2L /min 0-6 bar
储存温度 -20~85℃ 电气参数 功耗 ＜3.2W（有屏幕）
＜2.4W（无屏幕）
预热时间 <1s 机械参数 主体材质 底座：316L不锈钢， 外壳：碳钢 密封材质 FKM氟橡胶 -
单晶炉、晶体炉设备配气模块
单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氩气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化, 用直拉法生长无错位单晶的设备。
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