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MFC-T系列

数显式气体质量流量控制器

产品概要

MFC-T系列质量流量控制器(Mass Flow Controller)是 一 款 专 为 工 业 特 气 测 控 应 用 所开 发 的 一 款 的 智 能 化 、高 精 度 气 体 流 量 控 制 器产 品,该 产 品 采 用 高 速 采 样 处 理 技 术 和 智 能 控制 算 法,并 配 备 有 高 端 电 磁 比 例 阀 、3 1 6 L 不 锈钢 气 路 座 、高 精 度 流 量 传 感 器 等,具 有 精 度 高 、响 应 速 度 快 、稳 定 性 好 等 特 点 。在 输 出 方 面,带有 工 业 级 液 晶 触 控 显 示 屏,具 备 流 量 设 置 、瞬时 流 量 和 累 积 流 量 显 示 等 功 能 。输 出 和 信 号 可选 择 :4 - 2 0 m A 和 0 - 5 V 模 拟 信 号,以 及 RS 4 8 5 、RS232 等 数 字 通 信 方 式 。
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  • 详情介绍
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  • 产品应用
    • 商品名称: 数显式气体质量流量控制器
    • 商品编号: MFC-T系列

    MFC-T系列质量流量控制器(Mass Flow Controller)是 一 款 专 为 工 业 特 气 测 控 应 用 所开 发 的 一 款 的 智 能 化 、高 精 度 气 体 流 量 控 制 器产 品,该 产 品 采 用 高 速 采 样 处 理 技 术 和 智 能 控制 算 法,并 配 备 有 高 端 电 磁 比 例 阀 、3 1 6 L 不 锈钢 气 路 座 、高 精 度 流 量 传 感 器 等,具 有 精 度 高 、响 应 速 度 快 、稳 定 性 好 等 特 点 。在 输 出 方 面,带有 工 业 级 液 晶 触 控 显 示 屏,具 备 流 量 设 置 、瞬时 流 量 和 累 积 流 量 显 示 等 功 能 。输 出 和 信 号 可选 择 :4 - 2 0 m A 和 0 - 5 V 模 拟 信 号,以 及 RS 4 8 5 、RS232 等 数 字 通 信 方 式 。

  • 参数说明
    介质要求 洁净干燥无腐蚀性气体
    介质种类 空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等
    量程

    (0~10, 100, 200, 300, 500) SCCM

    (0~1, 2, 3, 5, 10,20) SLM

    精度 读数误差的1%或满量程误差的0.8%,二者取最大值
    分辨率 最低0.01SCCM
    响应时间 ≤0.7S
    重复精度 ±0.2%F.S
    线性 ±0.5%F.S
    环境条件
    工作温度 0~50℃
    工作湿度 10%~90%RH(无结冰,无凝露)
    工作压力

    ≥ 2L/min 0-4 bar

    <2L /min 0-6 bar

    储存温度 -20~85℃
    电气参数
    功耗

    <3.2W(有屏幕)

    <2.4W(无屏幕)

    预热时间 <1s
    机械参数
    主体材质 底座:316L不锈钢, 外壳:碳钢
    密封材质 FKM氟橡胶

     

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            单晶炉、晶体炉设备配气模块

         单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氩气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化, 用直拉法生长无错位单晶的设备。

     

     

      


       Low-E镀膜玻璃制作过程中的配气模块

    离线法生产Low-E玻璃,目前国际上普遍采用真空磁控溅射镀膜技术。在垂直式生产工艺中, 玻璃垂直放置在架子上,送入10-1帕数量级的真空环境中,通入适量的工艺气体(惰性气体Ar或反 应气体O2、N2),并保持真空度稳定,其中通入工艺气体需要气体质量流量控制器来进行精准测控。   

               


       氧化炉、扩散炉、LPCVD设备配气模块

    LPCVD低压力化学气相沉积法广泛用于氧化硅、氮化物、多晶硅沉积过程在管炉中执行。热氧化炉、扩散炉,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业 的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。


                    


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青岛芯笙微纳电子科技有限公司

青岛芯笙微纳电子科技有限公司是一家专业从事工业智能传感器芯片设计、模组开发,以及高端计量仪表研发、制造和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园,毗邻山东大学(青岛校区)、中国海洋大学、北航微电子研究院、中科院兰化所(青岛)、青岛大学等著名学府。

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