MFC-E系列
气体质量流量控制器
产品概要
- 详情介绍
- 规格参数
- 产品应用
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- 商品名称: 气体质量流量控制器
- 商品编号: MFC-E系列
M F C - E 系 列 质 量 流 量 控 制 器（ M a s s Flow Controller）是一款专为气体分析仪、质 谱 仪、配 气 仪 等 行 业 所 开 发 的 一 款 高 精 度、低 温 漂 、高 可 靠 性 的 气 体 质 量 流 量 控 制 器 产品 。该 产 品 配 备 有 高 精 度 流 量 传 感 器、高 端 电 磁 比 例 阀 、3 1 6 L 不 锈 钢 气 路 座 等，具 有 精 度高 、响 应 速 度 快 、稳 定 性 好 等 优 点 。操 作 使 用方 便 , 无 需 温 度 补 偿，压 力 不 敏 感 。输 出 和 控 制 信 号 包 含 ：0 - 5 V 模 拟 信 号 和 R S 4 8 5 数 字 通 信 方 式。
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介质要求 洁净干燥无腐蚀性气体
介质种类 空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等
量程 (0～20, 100, 300, 500) SCCM
(0～1, 2, 3, 5, 10，20) SLM
精度 读数误差的1%或满量程误差的0.8%，二者取最大值
分辨率 最低0.01SCCM
响应时间 ≤0.7S
重复精度 ±0.2%F.S
工作压力 ≥ 2L/min 0-4 bar
＜2L /min 0-6 bar
主体材质 底座：316L不锈钢， 外壳：碳钢
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动态气体校准仪
动态气体校准仪，是一种高精度动态混配气仪，用于产生不同浓度的标准气体，用于校准各种气体分析仪。
青岛芯笙MFC-E系列气体质量流量控制器，专为高精度动态混配气所设计，可提供硅烷化/陶 化处理，减少流量计内部气体吸附和析出，可用于配制最低ppt级别的VOCs校准气体。最大量程为 20slm，最小量程20sccm，在0-50℃范围内的精度为1%R.D.。
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MFC-UT系列质量流量控制器（ Mass Flow Controller）是基于业内先进流量传感器芯片，结合高速数字处理技术和智能补偿算法，所开发的一款紧凑型的气体质量流量控制器产品 。该产品配备有高端电磁比例阀、航空级铝合金气路座、高精度微机电流量芯片 等，对比传统的气体流量控制器，本产品采用集成化设计，使得该产品的体积大幅度缩小，可以在小体积、便携式设备中发挥更大优势，更好的适用于空间要求严格的安装场景 。
青岛芯笙微纳电子科技有限公司
青岛芯笙微纳电子科技有限公司是一家专业从事工业智能传感器芯片设计、模组开发，以及高端计量仪表研发、制造和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园，毗邻山东大学（青岛校区）、中国海洋大学、北航微电子研究院、中科院兰化所（青岛）、青岛大学等著名学府。