E系列
气体质量流量控制器，环保流量控制器，气体流量控制
产品概要
- 详情介绍
- 规格参数
- 产品应用
-
- 商品名称: 气体质量流量控制器，环保流量控制器，气体流量控制
- 商品编号: E系列
- 列表页描述: 热式质量流量控制器
M F C - E 系 列 质 量 流 量 控 制 器（ M a s s Flow Controller）是一款专为气体分析仪、质 谱 仪、配 气 仪 等 行 业 所 开 发 的 一 款 高 精 度、低 温 漂 、高 可 靠 性 的 气 体 质 量 流 量 控 制 器 产品 。该 产 品 配 备 有 高 精 度 流 量 传 感 器、高 端 电 磁 比 例 阀 、3 1 6 L 不 锈 钢 气 路 座 等，具 有 精 度高 、响 应 速 度 快 、稳 定 性 好 等 优 点 。操 作 使 用方 便 , 无 需 温 度 补 偿，压 力 不 敏 感 。输 出 和 控 制 信 号 包 含 ：0 - 5 V 模 拟 信 号 和 R S 4 8 5 数 字 通 信 方 式。
-
介质要求 洁净干燥无腐蚀性气体
介质种类 空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等
量程 (0～20, 100, 300, 500) SCCM
(0～1, 2, 3, 5, 10，20) SLM
精度
分辨率
响应时间 ≤0.5S
重复精度
工作压力 9.8bar
主体材质 底座：316L不锈钢， 外壳：铝合金
-
动态气体校准仪
动态气体校准仪，是一种高精度动态混配气仪，用于产生不同浓度的标准气体，用于校准各种气体分析仪。
青岛芯笙MFC-E系列气体质量流量控制器，专为高精度动态混配气所设计，可提供硅烷化/陶 化处理，减少流量计内部气体吸附和析出，可用于配制最低ppt级别的VOCs校准气体。最大量程为 20slm，最小量程20sccm，在0-50℃范围内的精度为1%R.D.。
相关产品
MFM-50系列气体质量流量计专门用于气 体 流 量 的 高 精 度 测 量 。该 系 列 流 量 计 采 用业 内 先 进 流 量 传 感 芯 片，结 合 航 空 铝 材 抛 光气 体 流 道 设 计，配 合 公 司 核 心 的 标 定 和 补 偿算 法，实 现 对 各 类 清 洁、干 燥 和 无 腐 蚀 性 气 体的 高 精 度 流 量 测 量 。该 产 品 2 0 S L M 以 内 典 型精 度 为 1 %，5 0 S L M 典 型 精 度 为 1 . 5 %，量 程比 均 优 于 1 0 0 : 1 ，此 系 列 产 品 的 量 程 从1 0 0 S CC M 到 8 0 0 S L M 可 选（其 它 量 程 可 咨 询 定制），并配有液晶屏显示、数字和模拟输出，方 便 用 户 现 场 和 远 程 调 试 。该 产 品 成 本 低、易安装、不需要额外温度和压力补偿 。实验室气体流量计，氢气流量计，氦气流量计，热式气体质量流量计。
M F C - E 系 列 质 量 流 量 控 制 器（ M a s s Flow Controller）是一款专为气体分析仪、质 谱 仪、配 气 仪 等 行 业 所 开 发 的 一 款 高 精 度、低 温 漂 、高 可 靠 性 的 气 体 质 量 流 量 控 制 器 产品 。该 产 品 配 备 有 高 精 度 流 量 传 感 器、高 端 电 磁 比 例 阀 、3 1 6 L 不 锈 钢 气 路 座 等，具 有 精 度高 、响 应 速 度 快 、稳 定 性 好 等 优 点 。操 作 使 用方 便 , 无 需 温 度 补 偿，压 力 不 敏 感 。输 出 和 控 制 信 号 包 含 ：0 - 5 V 模 拟 信 号 和 R S 4 8 5 数 字 通 信 方 式。
S300系列数字质量流量控制器/流量计：采用公司自主研发的工业级先进流量传感器，结合精细抛光气路结构以及高精度数字控制电路和算 法，实 现 高 精 度、低 零 漂、高 重 复 性 控 制 。该 产品配备现场显示屏和地址编码开关，多种通讯方式可选、可定制全金属密封，完美适配半导体、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境 。
青岛芯笙推出的S500系列气体质量流量控制器，以最新研制的MEMS芯片为基础，热分布更加均匀，可靠性更高；搭载全新设计的气路结构，让流量能够无视气源压力波动，保持稳定的层流状态和分流比；配备进口的高端电磁比例阀、核心标定和温补算法，可实现对气体流量的高精度控制。产品量程范围大，可测气体种类丰富，不受温度和压力影响，安装方便，可靠性高，完美适配各类应用环境。