E系列
气体质量流量控制器，环保流量控制器，气体流量控制
产品概要
- 详情介绍
- 规格参数
- 产品应用
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- 商品名称: 气体质量流量控制器，环保流量控制器，气体流量控制
- 商品编号: E系列
- 列表页描述: 热式质量流量控制器
M F C - E 系 列 质 量 流 量 控 制 器（ M a s s Flow Controller）是一款专为气体分析仪、质 谱 仪、配 气 仪 等 行 业 所 开 发 的 一 款 高 精 度、低 温 漂 、高 可 靠 性 的 气 体 质 量 流 量 控 制 器 产品 。该 产 品 配 备 有 高 精 度 流 量 传 感 器、高 端 电 磁 比 例 阀 、3 1 6 L 不 锈 钢 气 路 座 等，具 有 精 度高 、响 应 速 度 快 、稳 定 性 好 等 优 点 。操 作 使 用方 便 , 无 需 温 度 补 偿，压 力 不 敏 感 。输 出 和 控 制 信 号 包 含 ：0 - 5 V 模 拟 信 号 和 R S 4 8 5 数 字 通 信 方 式。
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介质要求 洁净干燥无腐蚀性气体
介质种类 空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等
量程 (0～20, 100, 300, 500) SCCM
(0～1, 2, 3, 5, 10，20) SLM
精度 读数误差的1%或满量程误差的0.8%，二者取最大值
分辨率 最低0.01SCCM
响应时间 ≤0.5S
重复精度 ±0.2%F.S
工作压力 ＞ 2L/min 0.5-4 bar
≤ 2L/min 0.5-6 bar（具体量程相关）
主体材质 底座：316L不锈钢， 外壳：铝合金
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动态气体校准仪
动态气体校准仪，是一种高精度动态混配气仪，用于产生不同浓度的标准气体，用于校准各种气体分析仪。
青岛芯笙MFC-E系列气体质量流量控制器，专为高精度动态混配气所设计，可提供硅烷化/陶 化处理，减少流量计内部气体吸附和析出，可用于配制最低ppt级别的VOCs校准气体。最大量程为 20slm，最小量程20sccm，在0-50℃范围内的精度为1%R.D.。
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青岛芯笙微纳电子科技有限公司
青岛芯笙微纳电子科技有限公司是一家专业从事工业智能传感器芯片设计、模组开发，以及高端计量仪表研发、制造和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园，毗邻山东大学（青岛校区）、中国海洋大学、北航微电子研究院、中科院兰化所（青岛）、青岛大学等著名学府。