应用场景

实验室用气计计量

工程配套:在实验室气体工程中,做到安全性高且能实现集中分配供气的系统完成从气源向仪 器的供气需要搭配气体质量流量计或气体质量流量控制器。

Low-E镀膜玻璃制作过程中的配气模块

离线法生产Low-E玻璃,目前国际上普遍采用真空磁控溅射镀膜技术。在垂直式生产工艺中,玻璃垂直放置在架子上,送入10-1帕数量级的真空环境中,通入适量的工艺气体(惰性气体Ar或反应气体O2、N2),并保持真空度稳定,其中通入工艺气体需要气体质量流量控制器来进行精准测控。

磁控溅射镀膜应用过程中的设备配气模块

磁控溅射是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。青岛芯笙S500系列气体质量流量控制器可广泛应用于真空镀膜行业领域,产品具有独特的气体流道设计,可实现灵活的分流比配置,可实现气体种类切换及满量程切换功能,最小控制精度为0.1sccm,配备工业级显示屏,方便客户现场调试和配置。

氧化炉、扩散炉、LPCVD设备配气模块

热氧化炉、扩散炉,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

单晶炉、晶体炉设备配气模块

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氩气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

大气采样器流量校准

大气采样器用于采集大气污染物或受污染的空气,其采样精度(流量)将影响后续的气体质量分析结果,需要空气站第三方维护机构进行定期校准。

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青岛芯笙微纳电子科技有限公司

青岛芯笙微纳电子科技有限公司是一家专业从事工业智能传感器芯片设计、模组开发,以及高端计量仪表研发、制造和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园,毗邻山东大学(青岛校区)、中国海洋大学、北航微电子研究院、中科院兰化所(青岛)、青岛大学等著名学府。

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