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气体质量流量模块需要知道的事项

发布时间:

2021/09/15 00:00

热式气体质量流量控制器和流量计的优点很多,随着越来越多的朋友都在使用热式气体质量流量控制器和质量流量计,很多人也对此产生了浓厚的兴趣,为了帮助朋友们更好的选择和使用此类产品,欢迎各位咨询了解。

除标准的各种气体质量流量控制器/流量计系列产品之外,还提供特制的,具有全部流体测量与控制功能的系统,还可OEM。可按照用户要求将一个或多个流量或压力传感器与控制阀,切断阀,混合室,过滤器或其它客户要求的功能模块组合在一起,实现高端的定制功能,除了以上介绍的产品之外,还提供其他相关配件,如:过滤器组件,及气体混合器,阀门检测测漏产品等。同时,还可提供满足不同用户需要的非标产品,经济型产品及OEM产品。

热式质量流量控制器/质量流量计可直接测量气体的质量流量,密度动态检测,不需要补偿,还可直接测体积流量,而体积流量计,只能直接测体积流量,如要测质量流量如果在组态时给一个固定的密度值,这样就不能动态检测密度,精度差一点。质量流量控制器/流量计测量气体是不受温度、压力影响。质量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,可根据实际需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值的误差范围。

流量传感器用于多种流体传感应用以检测流体运动,该流体可以是气态(比如空气)或液态。气体质量流量传感器是流量传感器的一个例子。使用气体质量流量传感器的气体传感应用的例子包括用于医学应用的麻醉气体混合器以管理计算出的精确麻醉量。

A热式的气体质量流量控制器的耐压程度有常规的3MPa,也有专门的LF-NH系列耐高压型的产品:10MPa。耐压程度为3MPa的气体质量流量控制器能满足市面上大部分的客户使用,本公司特别推出了适合使用压力较高的耐高压型气体质量流量控制器,耐高压型的产品能满足客户对产品耐压的要求,但是耐高压型的产品在满足了压力的情况下,流量量程就不能做到很大,最大流量只能做到在满量程的情况下达到30升每分钟。

可检测被检测气体的温度、压力和流量,能进行流量自动跟踪补偿,并显示标准状态下的气体流量:可实时查询温度、压力、时间、日期等数据。

随着国家对国产仪器和半导体设备的重视和支持,国内分析仪器产业、半导体装备产业实现了快速发展。作为分析仪器和半导体装备的核心部件,气体质量流量计/控制器目前仍以进口为主,国产化替代需求迫切。不同于传统的差压、涡街等原理的体积型流量计,MEMS气体质量流量计基于热传导原理对气体质量流量进行高精确测量,该类型产品不受温度和压力等环境参数影响,成为全球最为广泛使用的高精度微小气体流量测控技术。

热式气体质量流量控制器在各种等离子设备中广泛使用,莱峰流体生产和销售的热式气体质量流量计的主要作用是准确的控制和调节气体的进气流量,等离子设备中需要注入和填充的混合气体,以保证更好的产品性能,就需要更高精度和稳定性好的流量控制器。

配数据采集软件一套,在线工业组态软件一套。测控组成变量检测机构显示机构执行机构气体流量气体质量流量控制器触摸屏阀控乙醇加入量蠕动泵触摸屏转速调节预热器加热温度K型热电偶触摸屏调压模块反应器加热温度K型热电偶触摸屏调压模块反应温度K型热电偶触摸屏无反应压力指针式压力表压力表就地显示无

列中型流量气体质量流量控制器准确可靠的测量和控制气体质量流量,测量和控制精度高、零飘小,测量和控制范围宽,测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响,广泛的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域.

随着气体小流量测试技术研究的深入,高精度、高可靠的气体小流量标准装置也不断发展。但是由于气体小流量测量的复杂性和挑战性,目前气体小流量测量的精确度和质量仍然不能满足需求,特别是小微流量的中高压计量标准缺乏,并且因为气体没有固定的体积形态,与体积标准进行比较,受环境温度以及气体压力的限制较大。

列中型流量气体质量流量控制器由质量流量传感器、热式原件、质量流量控制器调节阀和放大电路组成,它利用流动的流体传递热量改变测量毛细管温度分布的热传导分布效应而制成,其原理是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量,将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压进行比较,用所得的差值去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

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好了,关于使用气体质量流量控制器/流量计的必要事项就简单的介绍到这里了,平时在仪器的使用中还有很多需要主要的地方和细节,需要多多咨询了解。模拟型、数字型和本体带数显的流量控制器/流量计是指的标况流量。在标准状态下,气体的密度是一个常数,该密度乘以标准状态下的体积就是质量数,所以标准状态下的体积流量具等同于质量流量。

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该装置的配气原理为质量流量混合法。通过准确的设置,便可配置出含量的各种标准气体。用独特的热式气体质量流量控制器原理,测量和控制的范围广泛,精度高,设备响应速度快,可内置多种标定气体,支持触摸屏本地按键快速切换,也可通过软件操作。用户可以手动设定气体流量的输入达到调节浓度的目的,也可以按照设备已经预设置好的逻辑顺序编程,进行自动控制。比如:让控制器控制不同的几个流量值,并在规定好的时间段内自动进行流量切换等,并把数据实时远传,可进行设定点的控制,以及对数据累计清零等。

质量流量控制器可以根据设定流量发送的电信号自动控制气体流量,不受使用条件和气压的影响。流量大致分为和。体积流量会受环境温度和压力的影响:实际流量需要测量和计算压力和温度。质量流量受环境压力和温度的影响非常小,因此可以提供更准确稳定的测量和控制。我们的质量流量控制器在工业领域使用广泛,在流量精确控制或自动生产线搭建中是不可缺少的设备。

建议气体涡轮流量计的实际使用流量应在流量计的最大额定流量的20%—80%范围内。气体涡轮流量计允许短时过载,但实际最大流量不能超过气体涡轮流量计允许最大流量的20%,而且持续时间不能超过半小时。

在等离子清洗机中,一般会使用到微小流量的气体,对其进行离化,生成一种全新的物质状态——等离子状态。模拟型和数字型的气体质量流量控制器也在等离子清洗设备中广泛使用,设备对气体质量流量控制器的稳定性和重复性要求极高,耐压能达5Mpa,精度可达±1%,重复性和线性精度稳定。

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