新突破！青岛芯笙公司获国家重点研发计划项目立项支持

发布时间：

2024-01-09

概要

青岛芯笙微纳电子科技有限公司做为课题牵头单位申报的国家重点研发计划“微量程流量敏感元件及传感器”项目获科技部立项批复，并于2023年12月获得首批拨款，项目正式进入实施阶段。这是青岛芯笙微纳电子科技有限公司首次获得该类项目的支持，意味着公司正式进入国家队、相关技术获得国家层面的认可。

国家重点研发计划由原国家重点基础研究发展计划（973计划）、国家高技术研究发展计划（863计划）、国家科技支撑计划等整合而成，是为了满足国家重大需求、提高产业核心竞争力和自主创新能力、解决当前及未来发展面临的科技瓶颈和突出问题而实施的一系列重大科研发展计划。

项目主要研究内容

“微量程流量敏感元件及传感器”项目中青岛芯笙公司联合汉威集团、航天五院511所、中国电科49所、中科院微电子所等单位进行关键技术攻关。该项目经过评选、答辩多个环节，最终获得行业专家认可、科技部立项批准。项目面向氢能、半导体等行业对微小气体流量检测的需求，研制全球领先的”温-压-流“一体化集成流量传感器芯片和系统集成技术，实现目标量程仅为0.2sccm的流量计产品。该项目的实施，将有效促进公司在流量传感器及流量计方面的开发，提高国家在先进气体流量测控技术领域的技术水平。

公司简介

青岛芯笙微纳电子科技有限公司，位于青岛市崂山区国际创新园，孵化自山东大学。公司以高端气体质量流量计/控制器（MFC）、薄膜真空计（Vacuum Transducer）、压力控制器（EPC）等半导体核心零部件的研发、生产和销售为一体的国家高新技术企业。通过自主创新、产学研合作，助力国家半导体产业的发展。公司目前承建青岛市先进气体流量测控重点实验室、青岛市智能传感器工程中心、青岛市专家工作站等研发机构，并荣获山东“专精特新”、青岛等称号。公司创始团队成员来自海外传感器知名研究机构和专业仪器仪表公司，在传感器芯片设计、计量仪表开发方面具有丰富经验。公司现有洁净厂房4000余平米，具有IS09001、IS014001等体系认证。相关产品被广泛应用于光伏、半导体、气体分析仪、钎焊/氩弧焊、计量院、实验室等特气专业使用领域，以及建筑通风和汽车等民用领域。

2014—2019技术积累

2020：0-250slm 流量计0-1slm MFC微型数字风速计

2021：0-800slm流量计0-10slm MFCMFM：50, T系列 MFC：E, T, UT系列

2022：S500系列半导体级 MFC电子压力控制器比例阀开发：50-500L/min量程

2023：薄膜真空规全金属密封MFC S300D气体测控解决系统方案
压电比例阀高精度差压MFC DT500 半导体流量计S70

返回上一页

上一个：

小身材，大能量！

下一个：

为什么选择青岛芯笙微纳电子科技的高精度热式流量控制器

2025-07-30

市委书记曾赞荣莅临青岛芯笙微纳电子科技调研强调深耕细分领域增强配套能力