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小身材,大能量!

发布时间:

2024-03-20 07:56

热式流量传感器是一种基于流体传热学原理的传感器,广泛应用于各类气体流量测量,具有精度高、稳定性好、可靠性高等优点。

目前,热式流量传感器主要有两种解决方案:一种是毛细管式流量传感器,需要在内径为几个毫米的毛细管上缠绕电阻丝,这种方案加工复杂,且热容较大,响应速度慢;另一种方案为时下主流的MEMS芯片式流量传感器,该方案采用MEMS工艺在硅基衬底上制作微米级的Heater和检测单元,利用流体与芯片的热交换实现流量质量流量的测量,其工作原理如图所示:

相对于毛细管的大尺寸来说,MEMS芯片的尺寸仅有毫米大小(青岛芯笙的第二代MEMS芯片尺寸为3mm×1mm,其核心敏感区更是只有0.8mm×0.4mm),由于热容小,可实现更快的响应速度。下图所示为毛细管式流量计和MEMS芯片式流量计的响应时间对比:

除此之外,得益于小体积和高集成度,MEMS芯片式流量传感器还具有高灵敏度、高信噪比、大量程比、高一致性和高可靠性等优点,真可谓“小身材,大能量”!

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青岛芯笙微纳电子科技有限公司

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