小身材，大能量！
发布时间：
2024-03-20
概要
热式流量传感器是一种基于流体传热学原理的传感器，广泛应用于各类气体流量测量，具有精度高、稳定性好、可靠性高等优点。
目前，热式流量传感器主要有两种解决方案：一种是毛细管式流量传感器，需要在内径为几个毫米的毛细管上缠绕电阻丝，这种方案加工复杂，且热容较大，响应速度慢；另一种方案为时下主流的MEMS芯片式流量传感器，该方案采用MEMS工艺在硅基衬底上制作微米级的Heater和检测单元，利用流体与芯片的热交换实现流量质量流量的测量，其工作原理如图所示：
相对于毛细管的大尺寸来说，MEMS芯片的尺寸仅有毫米大小（青岛芯笙的第二代MEMS芯片尺寸为3mm×1mm，其核心敏感区更是只有0.8mm×0.4mm），由于热容小，可实现更快的响应速度。下图所示为毛细管式流量计和MEMS芯片式流量计的响应时间对比：
除此之外，得益于小体积和高集成度，MEMS芯片式流量传感器还具有高灵敏度、高信噪比、大量程比、高一致性和高可靠性等优点，真可谓“小身材，大能量”！
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