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DF500系列

·高精度差压式流量计量技术

·高速压电陶瓷比例阀

·精度不受压力波动影响

·执行SEMI标准,多种通讯可选

电话:

DF500系列

DF500系列

产品规格

型号分类DF500·DeviceNet版DF500·D/A版

量程

(氮气等效)

(0~50,100,200,500)sccm
(0~1,2,5)slm

其他量程可选,具体请咨询

精度1±1.0%S.P.(>10%F.S.)
±0.1%F.S.(≤10%F.S.)
量程比100:1
进气口压力240~450kPa(A)
工作压差

≥240kPa

出气口压力≤15kPa(A)
压力精度±7kPa(0-700 kPa(A))for digital signal
温度精度±1℃ (0-50℃)
稳定性±1%F.S./year
可重复性±0.2 %S.P.(>10%F.S.)
±0.02%F.S.(≤10%F.S.)
响应时间2≤1s
内漏≤0.5%F.S.
外漏≤1.0×10-12 Pa m³/s (He)
最大耐压≤1000kPa(A)
工作温度0~50℃(建议15~45℃)
存储温度

-20~80℃

气路材料SUS316Lvv
阀状态
供电电压DC24V(≤150mA)
通讯接口

M12(五针)

DB9M,RJ45双网口
通讯协议DeviceNetRS485
标准配件1/4 inch VCR,1.125inch iGS,其它可选
安装方向

安装方向不影响精度

备注

1. %S.P.指误差占设定值的百分比,%F.S.指误差占满量程的百分比,测试时采用氮气,其它测试条件满足本规格书要求。

2. 响应时间指达到设定值±2%以内所需要的时间,测试时采用氮气,25°℃,其它测试条件满足本规格书要求。

应用领域

关键词:

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