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- 商品名称: DF500系列
- 列表页描述: DF500专为半导体工艺量身打造
DF500系列
产品规格
型号分类 DF500·DeviceNet版DF500·D/A版 量程
(氮气等效)
(0~50,100,200,500)sccm
(0~1,2,5)slm其他量程可选，具体请咨询
精度1 ±1.0%S.P.(>10%F.S.) ±0.1%F.S.(≤10%F.S.) 量程比 100:1 进气口压力 240~450kPa(A) 工作压差 ≥240kPa
出气口压力 ≤15kPa(A) 压力精度 ±7kPa(0-700 kPa(A))for digital signal 温度精度 ±1℃ (0-50℃) 稳定性 ±1%F.S./year 可重复性 ±0.2 %S.P.(>10%F.S.)
±0.02%F.S.(≤10%F.S.)响应时间2 ≤1s 内漏 ≤0.5%F.S. 外漏 ≤1.0×10-12 Pa m³/s (He) 最大耐压 ≤1000kPa(A) 工作温度 0~50℃(建议15~45℃) 存储温度 -20~80℃
气路材料 SUS316Lvv 阀状态 供电电压 DC24V(≤150mA) 通讯接口 M12(五针)
DB9M,RJ45双网口 通讯协议 DeviceNet RS485 标准配件 1/4 inch VCR,1.125inch iGS,其它可选 安装方向 安装方向不影响精度
备注
1. %S.P.指误差占设定值的百分比，%F.S.指误差占满量程的百分比，测试时采用氮气，其它测试条件满足本规格书要求。
2. 响应时间指达到设定值±2%以内所需要的时间，测试时采用氮气，25°℃，其它测试条件满足本规格书要求。
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·高精度差压式流量计量技术
·高速压电陶瓷比例阀
·精度不受压力波动影响
·执行SEMI标准，多种通讯可选
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青岛芯笙微纳电子科技有限公司
青岛芯笙微纳电子科技有限公司是一家专业从事工业智能传感器芯片设计、模组开发，以及高端计量仪表研发、制造和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园，毗邻山东大学（青岛校区）、中国海洋大学、北航微电子研究院、中科院兰化所（青岛）、青岛大学等著名学府。
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