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DF500系列

产品概要

量程范围:0-50sccm到0-5slm
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    • 商品名称: DF500系列
    • 列表页描述: 快速响应的压差式MFC 用于半导体刻蚀机等先进制程设备
    • 详情左侧优点: <p>高精度差压式流量计量技术</p> <p>高速压电陶瓷比例阀</p> <p>精度不受压力波动影响</p> <p>执行SEMI标准,多种通讯可选</p>

    量程范围:0-50sccm到0-5slm

    描述

    1. 高精度差压式流量计量技术

    5-100% F.S.区间精度±1% S.P.; 0.5 - 5% F.S. 区间精度为±0.1% F.S.支持多气体多量程(25-100%FS量程可切换)。

    2. 高速压电陶瓷比例阀

    ms级响应时间,及时捕捉微小流量变化,可在1s内实现任意流量点切换并稳定具有高稳定性,抗电磁干扰,无电磁热效应。

    3. 精度不受压力波动影响

    通过压力补偿,实现压力不敏感,保证复杂气路环境中精度不受影响,适用于多气路用气等工况的半导体工艺。

    4. 执行SEMI标准,多种通讯可选

    设计和生产严格执行SEMI E17、E18、E28标准,气路结构选用进口316Lvv材料多种通讯方式可选,具有良好的兼容性。

  • DF500系列产品,具备高精度、高稳定性及高精确控制能力,可应用于7nm、14nm、28nm等先进半导体工艺制程中,可为半导体产业国产化进程注入芯笙动力。

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青岛芯笙微纳电子科技有限公司是一家专业从事工业智能传感器芯片设计、模组开发,以及高端计量仪表研发、制造和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园,毗邻山东大学(青岛校区)、中国海洋大学、北航微电子研究院、中科院兰化所(青岛)、青岛大学等著名学府。

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