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- 商品名称: DF500系列
- 列表页描述: 快速响应的压差式MFC 用于半导体刻蚀机等先进制程设备
- 详情左侧优点: <p>高精度差压式流量计量技术</p> <p>高速压电陶瓷比例阀</p> <p>精度不受压力波动影响</p> <p>执行SEMI标准,多种通讯可选</p>
量程范围:0-50sccm到0-5slm
描述
1. 高精度差压式流量计量技术
5-100% F.S.区间精度±1% S.P.; 0.5 - 5% F.S. 区间精度为±0.1% F.S.支持多气体多量程(25-100%FS量程可切换)。
2. 高速压电陶瓷比例阀
ms级响应时间,及时捕捉微小流量变化,可在1s内实现任意流量点切换并稳定具有高稳定性,抗电磁干扰,无电磁热效应。
3. 精度不受压力波动影响
通过压力补偿,实现压力不敏感,保证复杂气路环境中精度不受影响,适用于多气路用气等工况的半导体工艺。
4. 执行SEMI标准,多种通讯可选
设计和生产严格执行SEMI E17、E18、E28标准,气路结构选用进口316Lvv材料多种通讯方式可选,具有良好的兼容性。
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DF500系列产品,具备高精度、高稳定性及高精确控制能力,可应用于7nm、14nm、28nm等先进半导体工艺制程中,可为半导体产业国产化进程注入芯笙动力。
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