- 详情介绍
- 规格参数
- 产品应用
- 产品优点
-
- 商品名称: S300系列
- 列表页描述: 高性能MFC，为高端装备量身打造
S300系列
产品规格
型号分类 S300·EtherCAT版 S300·D/A版 基本参数 介质要求 洁净干燥气体 介质种类 空气、氮气、氧气、二氧化碳、氢气、甲烷、氨气、硅烷、三氯化硼、氯气等 量程1
(氮气等效)(0~10,20,50,100,200,500)sccm
(0~1,2,5,10,20,50)slm
(0~100,200,400)slm——量程≥100slm时，采用外置阀结构
——其他量程可选，具体请详询本公司精度 ±0.3%F.S.2(≤30%F.S.) ——%F.S.指误差占满量程的百分比
±1.0%S.P.3(>30%F.S.) ——%S.P.指误差占设定值的百分比量程比 50:1 响应时间4 控制器：≤1s
流量计：≤10ms ——响应时间指达到设定值或最终稳定值±2%以内所需要的时间重复精度 ≤±0.2%F.S. 分辨率 0.01sccm,≤100sccm
1sccm,>100sccm漏率 氟橡胶密封：≤4×10-10Pam³/sHe
全金属密封：≤1×10-12Pam3/sHe ——量程≥100slm时，全金属密封版本暂不支持订购最大耐压 10bar 环境条件 工作温度 0~50℃ 工作湿度 10%~90%R.H.(无结冰、无凝霜) 工作压力5 控制器：最大6bar(可定制)
流量计：10bar ——工作压力指进气口与出气口之间的差压储存温度 -20~85℃ 电气参数 供电电压 DC24V(通过侧面M8接口) DC24V(通过顶部DB9M接口) 顶部
接口类型RJ45双网口(带指示灯) DB9M 侧面
接口类型M8航空插头 RJ45双网口(无指示灯) 显示屏 有，位于顶部 无 通讯方式 EtherCAT RS485、0~5V、4~20mA 功耗 ≤2.7W 启动时间 ≤1s 通讯参数 EtherCAT 通过顶部RJ45接口进行通讯；设备地址为1(默认)-999,
可通过上位机或指令修改无 RS485 无 通过顶部DB9M接口或侧面RJ45进行通讯；Modbus-RTU协
议、MKS协议可选；设备地址为1(默认)-99,通讯速率支持
9600,19200(默认),38400及其他，可通过顶部拨码开关修改0-5V 无 通过顶部DB9M接口进行通讯(订购时选择); 4-20mA 无 通过顶部DB9M接口进行通讯(订购时选择); 机械参数 接头类型 卡套：1/4inch、1/2inch;VCR:1/4inch、1/2inch;其它可选 气体接触
材质氟橡胶密封：316L不锈钢、氟橡胶、氮化硅；
全金属密封：316L不锈钢 ——量程≥100slm时，全金属密封版本暂不支持订购主体材质 底座：316L不锈钢
外壳：铝合金密封材质 FKM氟橡胶或全金属 重量 控制器：0.85kg~2.8kg
流量计：0.80kg备注
● 除非另有说明，本产品标定于以下条件:氮气、25℃、2.5bar差压(进气口3.5barA,出气口 1barA)、水平放置。
● 建议在入口端安装尺寸合适的直管段，否则可能会引起精度产生偏差。
● 建议在入口端和出口端匹配尽可能大的接头，以避免导致额外的压损。
1. 所示量程为氮气可选量程。
2. %F.S.指误差占满量程的百分比。
3. %S.P.指误差占设定值的百分比。
4. 响应时间指达到设定值±2%以内所需要的时间。
5. 工作压力指进气口与出气口之间的差压。
-
· 耐污染、耐粉尘、耐腐蚀性能力
· 便于维修、性价比高、货期短
新品发布
相关下载
相关产品
+
特气柜
+
FLOW-IGS
+
WIN
+
PSC-100/200
青岛芯笙微纳电子科技有限公司
青岛芯笙微纳电子科技有限公司是一家专业从事工业智能传感器芯片设计、模组开发，以及高端计量仪表研发、制造和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园，毗邻山东大学（青岛校区）、中国海洋大学、北航微电子研究院、中科院兰化所（青岛）、青岛大学等著名学府。
产品展示