S300系列

· 耐污染、耐粉尘、耐腐蚀性能力

· 便于维修、性价比高、货期短

所属分类：

气体流量测量和控制

电话：

S300系列

产品规格

	型号分类	S300·EtherCAT版	S300·D/A版
基本参数	介质要求	洁净干燥气体
	介质种类	空气、氮气、氧气、二氧化碳、氢气、甲烷、氨气、硅烷、三氯化硼、氯气等
	量程¹ (氮气等效)	(0~10,20,50,100,200,500)sccm (0~1,2,5,10,20,50)slm (0~100,200,400)slm ——量程≥100slm时，采用外置阀结构 ——其他量程可选，具体请详询本公司
	精度	±0.3%F.S.²(≤30%F.S.) ——%F.S.指误差占满量程的百分比 ±1.0%S.P.³(>30%F.S.) ——%S.P.指误差占设定值的百分比
	量程比	50:1
	响应时间⁴	控制器：≤1s 流量计：≤10ms ——响应时间指达到设定值或最终稳定值±2%以内所需要的时间
	重复精度	≤±0.2%F.S.
	分辨率	0.01sccm,≤100sccm 1sccm,>100sccm
	漏率	氟橡胶密封：≤4×10-10Pam³/sHe 全金属密封：≤1×10-12Pam3/sHe ——量程≥100slm时，全金属密封版本暂不支持订购
	最大耐压	10bar
环境条件	工作温度	0~50℃
	工作湿度	10%~90%R.H.(无结冰、无凝霜)
	工作压力⁵	控制器：最大6bar(可定制) 流量计：10bar ——工作压力指进气口与出气口之间的差压
	储存温度	-20~85℃
电气参数	供电电压	DC24V(通过侧面M8接口)	DC24V(通过顶部DB9M接口)
	顶部接口类型	RJ45双网口(带指示灯)	DB9M
	侧面接口类型	M8航空插头	RJ45双网口(无指示灯)
	显示屏	有，位于顶部	无
	通讯方式	EtherCAT	RS485、0~5V、4~20mA
	功耗	≤2.7W
	启动时间	≤1s
通讯参数	EtherCAT	通过顶部RJ45接口进行通讯；设备地址为1(默认)-999, 可通过上位机或指令修改	无
	RS485	无	通过顶部DB9M接口或侧面RJ45进行通讯；Modbus-RTU协议、MKS协议可选；设备地址为1(默认)-99,通讯速率支持 9600,19200(默认),38400及其他，可通过顶部拨码开关修改
	0-5V	无	通过顶部DB9M接口进行通讯(订购时选择);
	4-20mA	无	通过顶部DB9M接口进行通讯(订购时选择);
机械参数	接头类型	卡套：1/4inch、1/2inch;VCR:1/4inch、1/2inch;其它可选
	气体接触材质	氟橡胶密封：316L不锈钢、氟橡胶、氮化硅；全金属密封：316L不锈钢 ——量程≥100slm时，全金属密封版本暂不支持订购
	主体材质	底座：316L不锈钢外壳：铝合金
	密封材质	FKM氟橡胶或全金属
	重量	控制器：0.85kg~2.8kg 流量计：0.80kg