P500系列
P500系列
产品规格
| 压力控制量程 | 0-50/100Torr | ||
| 压力控制精度 | ±0.5%FS | ||
| 压力控制范围 | 1-100%FS | ||
| 响应时间 | ≤ls | ||
| 通讯方式 | RS485、EtherCAT、DeviceNet | ||
| 压力信号输出 | 0-10V | ||
| 流量信号输出 | 0-5V | ||
| 进气压力范围 | 1.5-3Bar | ||
| 流量检测范围(氨气 | 0-20/50/100sccm(其他请咨询) | ||
| 流量检测精度 | 0-25%FS:＜0.3%FS; >25% FS:1 %RD | ||
| 漏率(对外) | ≤le-12 Pa.m^3/s(氮气) | ||
| 漏率(对内) | ＜0.1sccm(氮气) | ||
| 供电电压 | 18-32V(推荐24V) | ||
| 接头类型 | 1/4VCR | ||
| 工作温度 | 15-40℃ |
通讯连接
DeviceNet版
M12 定义
| 引肉序号 | 信号名 |
M12(5 针) |
|
| 1 | NC. | ||
| 2 | DC24V | ||
| 3 | 电7地 | ||
| 4 | CanH | ||
| 5 | CanL | ||
应用领域
半导体晶圆氦冷系统
液源压力控制系统
MOCVD蒸汽压力控制
关键词：
芯笙值得信赖
完善的技术、过硬的质量、独特的服务，始终引导行业的发展
