- 详情介绍
- 规格参数
- 产品应用
- 产品优点
-
- 商品名称: S700系列
- 列表页描述: 压力不敏感数字式质量流量控制器
S700系列
产品规格
型号分类 S700·DeviceNet版 S700·D/A版 量程
(氮气等效)(0~10,20,50,100,200,500)Sccm
(0~1,2,5,10)slm
其他量程可选，具体请咨询精度1 ±1.0%S.P.(>25%F.S.)
±0.25%F.S.(≤25%F.S.)量程比 50:1 工作温度 0~50℃(建议15~45℃) 存储温度 -20~80℃ 响应时间2 ≤1s 线性度 ≤±0.5%F.S. 可重复性 ≤±0.2%F.S. 工作压差 50to300kPa 压力波动补偿 ≤±(5.0%S.P.+1.5%F.S.)@5psi/s 外漏 ≤5.0×10-12Pam3/s(He) 气路材料 SUS316LvV 阀默认状态 常闭 阀完全关闭
时的流量≤±1.0%F.S. 供电电压 DC24V±5% 通讯接口 M12(5针) DB9M,RJ45双网口 通讯协议 DeviceNet RS485 标准配件 1/4inchVCR,1.125inchiGS,其它可选 安装方向 安装方向不影响精度 备注
1. %S.P.指误差占设定值的百分比，%F.S.指误差占满量程的百分比，测试时采用氮气，其它测试条件满足本规格书要求。
2. 响应时间指达到设定值±2%以内所需要的时间，测试时采用氮气，25℃，其它测试条件满足本规格书要求。
-
· 高精度流量控制
· 全量程内实现快速响应
· 压力不敏感特性
· 量程/气体切换功能
· 自带屏显，界面友好
· 严格执行SEMI标准
新品发布
相关下载
相关产品
+
特气柜
+
FLOW-IGS
+
WIN
+
PSC-100/200
青岛芯笙微纳电子科技有限公司
青岛芯笙微纳电子科技有限公司是一家专业从事工业智能传感器芯片设计、模组开发，以及高端计量仪表研发、制造和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园，毗邻山东大学（青岛校区）、中国海洋大学、北航微电子研究院、中科院兰化所（青岛）、青岛大学等著名学府。
产品展示