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P300系列

· 长期工作稳定可靠

· 控制精度高

· 环境适应性好

所属分类:

电话:

P300系列

P300系列

型号说明

指标参数 P300-MR P300-DR
压力类型 绝压
控制压力的满量程 1200mBar
耐压 3MPa
控制方式 上游
阀口满量程流量 2、3、5SLM
响应时间 <1s
温度系数 <0.02%FS/℃
压力分辨率 0.1mBar
压力控制精度 ±1%SP(≥10%FS),0.2%FS(<10%FS)
工作温度范围 10°C~50℃
机械接口 1/4 inch卡套、1/4 inch VCR
电气接口 M8或RJ45双网口(带指示灯) RJ45双网口(无指示灯)或DB9M
通信方式 RS485、EtherCAT RS485、0~5V1
阀类型 常闭
外漏率 <1×10-12 Pa m³/s  (He)
内漏率 <0.1%FS
供电电压 15~24VDC

备注

1. 0~5V版本暂不支持选购,如果要请详询。

应用领域

半导体

半导体

光伏

光伏

真空镀膜

真空镀膜

关键词:

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