青岛芯笙微纳电子科技有限公司是一家专业从事工业智能传感器芯片设计、模组开发，以及高端计量仪表研发、制造和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园，毗邻山东大学（青岛校区）、中国海洋大学、北航微电子研究院、中科院兰化所（青岛）、青岛大学等著名学府。

产品展示

S500系列

产品概要

产品规格

基本参数
介质要求	洁净干燥无腐蚀性气体
介质种类	空气、氮气、氧气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氩气等

量程¹ (氮气等效)	(0~20,50,100,200,500)sccm (0~1,2,5,10,20)slm 其他量程可选，详细请咨询


精度	±0.3%F.S.² (≤30%F.S.) ±1.0%S.P. ³(>30%F.S.)

量程比	100:1
响应时间⁴	≤0.5s
重复精度	≤±0.2%F.S.
分辨率	0.001sccm, ≤20sccm 0.01sccm, ≤100sccm且>20sccm 0.1sccm, ≤1slm且>100sccm 1sccm, >1slm


漏率	≤1×10^-10Pam³/sHe
最大耐压	9.8bar

环境条件
工作温度	0~50℃
工作湿度	10%~90%R.H.(无结冰、无凝霜)

工作压力⁵	0.5~4bar,>2slm 0.5~6bar,≤2slm (具体量程相关)


储存温度	-20~85℃
电气参数
供电电压	DC24V
功耗	≤4.0W
启动时间	≤1s
通信接口
接口类型	D-SUB9、RJ45

模拟控制	0-5V或4-20mA
数字控制	RS485或RS232

数字信号(RS485或RS232)
接口类型	D-SUB9或RJ45
通信速率	9600,38400,115200(默认)
协议	Modbus-RTU
设备地址	1(默认)~99
机械参数
接头类型	卡套：1/4inch VCR:1/4inch 其它可选


气体接触材质	316L不锈钢、氟橡胶、二氧化硅

主体材质	底座：316L不锈钢外壳：铝合金

密封材质	FKM氟橡胶

重量	0.95kg

备注

● 除非另有说明，本产品标定于以下条件:氮气、25℃、2.5bar差压(进气口3.5barA，出气口 1barA)、水平放置。

● 建议在入口端安装尺寸合适的直管段，否则可能会引起精度产生偏差。

● 建议在入口端和出口端匹配尽可能大的接头，以避免导致额外的压损。

1. 所示量程为氮气可选量程。

2. %F.S.指误差占满量程的百分比。

3. %S.P.指误差占设定值的百分比。

4. 响应时间指达到设定值±2%以内所需要的时间。

5. 工作压力指进气口与出气口之间的差压。

新品发布