S500系列
S500系列
产品规格
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基本参数 |
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介质要求 |
洁净干燥无腐蚀性气体 |
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介质种类 |
空气、氮气、氧气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氩气等 |
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量程1 |
(0~20,50,100,200,500)sccm |
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精度 |
±0.3%F.S.2 (≤30%F.S.) |
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量程比 |
100:1 |
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响应时间4 |
≤0.5s |
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重复精度 |
≤±0.2%F.S. |
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分辨率 |
0.001sccm, ≤20sccm |
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漏率 |
≤1×10-10Pam³/sHe |
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最大耐压 |
9.8bar |
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环境条件 |
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工作温度 |
0~50℃ |
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工作湿度 |
10%~90%R.H.(无结冰、无凝霜) |
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工作压力5 |
0.5~4bar,>2slm |
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储存温度 |
-20~85℃ |
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电气参数 |
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供电电压 |
DC24V |
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功耗 |
≤4.0W |
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启动时间 |
≤1s |
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通信接口 |
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接口类型 |
D-SUB9、RJ45 |
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模拟控制 |
0-5V或4-20mA |
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数字控制 |
RS485或RS232 |
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数字信号(RS485或RS232) |
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接口类型 |
D-SUB9或RJ45 |
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通信速率 |
9600,38400,115200(默认) |
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协议 |
Modbus-RTU |
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设备地址 |
1(默认)~99 |
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机械参数 |
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接头类型 |
卡套：1/4inch |
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气体接触 |
316L不锈钢、氟橡胶、二氧化硅 |
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主体材质 |
底座：316L不锈钢 |
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密封材质 |
FKM氟橡胶 |
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重量 |
0.95kg |
备注
● 除非另有说明，本产品标定于以下条件:氮气、25℃、2.5bar差压(进气口3.5barA，出气口 1barA)、水平放置。
● 建议在入口端安装尺寸合适的直管段，否则可能会引起精度产生偏差。
● 建议在入口端和出口端匹配尽可能大的接头，以避免导致额外的压损。
1. 所示量程为氮气可选量程。
2. %F.S.指误差占满量程的百分比。
3. %S.P.指误差占设定值的百分比。
4. 响应时间指达到设定值±2%以内所需要的时间。
5. 工作压力指进气口与出气口之间的差压。
应用领域
半导体
光伏
真空镀膜
关键词：
芯笙值得信赖
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