FLOW-IGS质量流量/压力计和控制器表面集成系统
FLOW-IGS系列
FLOW-IGS系列专为寻求最佳空间效能工艺气体面板化的客户而研发。可根据客户需求在紧凑、轻型但坚固耐用的安装轨道系统上安装一个或者多个质量流量计/控制器或压力传感器模块与控制阀、切断阀、混合室、过滤器或任何其他功能模块的组合。FLOW-IGS系统的模块概念为终端用户在修改维护方面提供了极大的灵活性。功能模块安装在上部，因而可以轻易更换，无需拆卸总装。
产品应用
● 真空、等离子、喷洒和涂层工艺。
● 催化剂研发测试台。
● 半导体和太阳能电池制造。
● 燃烧器控制(焊接)。
● 生物技术和化学装置。
● 食品和饮料加工。
数学特性
● 模拟或数字通讯(RS232,DeviceNetTM,PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT®, PROFINET)。
● 可选PROFIBUS网关，提供有成本优势的3通道或多通道。
● 警报和计数功能。
● 用户可配置控制特性。
● 可选的多气体/多量程功能。
● 免费软件工具。
应用领域
关键词：
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