青岛芯笙微纳电子科技有限公司是一家专业从事工业智能传感器芯片设计、模组开发，以及高端计量仪表研发、制造和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园，毗邻山东大学（青岛校区）、中国海洋大学、北航微电子研究院、中科院兰化所（青岛）、青岛大学等著名学府。

产品展示

MFM-50

产品概要

50系列

基本参数
介质要求	洁净干燥无腐蚀性气体
介质种类	空气、氮气、氧气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氩气等

量程¹ (氮气等效)	(0~20,50,100,200,500)sccm (0~1,5,10,50,100,200,500,800,1000)slm 其他量程可选，详细请咨询


精度	1.0%F.S.² <50slm 1.5%F.S. ≤100slm且≥50slm 2.0%F.S. >100slm


量程比	100:1

响应时间³	10ms
流量压损	≤100Pa(具体量程相关)

重复精度	≤±0.2%F.S.

分辨率	0.01sccm,≤100sccm 0.1sccm, ≤1slm且>100sccm 1sccm, ≤5slm且>1slm 0.01slm, >5slm


最大耐压	2MPa
环境条件
工作温度	0~50℃

工作湿度	10%~90%R.H.(无结冰、无凝霜)
工作压力⁴	0~1MPa
储存温度	-20~85℃
电气参数
供电电压	DC8~24V
功耗	≤250mW
显示方式	液晶屏(刷新率100ms)或上位机
通信接口
接口类型	7芯航空插头

模拟控制	4~20mA(选配)
数字控制	RS485

数字信号(RS485)
接口类型	7芯航空插头

通信速率	9600(默认),14400,19200,38400,56000, 57600,115200 (可通过指令或上位机修改)


协议	Modbus-RTU

设备地址	1(默认)~250 (可通过指令或上位机修改)

机械参数
接头类型	卡套：8mm、12mm、1/4inch、1/8inch 其它可选

气体接触材质	铝合金、氟橡胶、二氧化硅

主体材质	底座：航空铝合金(批量可选316L不锈钢) 外壳：铝合金

密封材质	FKM氟橡胶
重量	0.30kg

备注：

●除非另有说明，本产品标定于以下条件:氮气、25℃、2.5bar差压(进气口3.5barA，出气口1barA)、水平放置。

●建议在入口端安装尺寸合适的直管段，否则可能会引起精度产生偏差。

●建议在入口端和出口端匹配尽可能大的接头，以避免导致额外的压损。

1.所示量程为氮气可选量程。

2.%F.S.指误差占满量程的百分比。

3.响应时间指达到设定值±2%以内所需要的时间。

4.工作压力指进气口与出气口之间的差压。

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