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MFM-50系列气体质量流量计专门用于气 体 流 量 的 高 精 度 测 量 。该 系 列 流 量 计 采 用业 内 先 进 流 量 传 感 芯 片，结 合 航 空 铝 材 抛 光气 体 流 道 设 计，配 合 公 司 核 心 的 标 定 和 补 偿算 法，实 现 对 各 类 清 洁、干 燥 和 无 腐 蚀 性 气 体的 高 精 度 流 量 测 量 。该 产 品 2 0 S L M 以 内 典 型精 度 为 1 %，5 0 S L M 典 型 精 度 为 1 . 5 %，量 程比 均 优 于 1 0 0 : 1 ，此 系 列 产 品 的 量 程 从1 0 0 S CC M 到 8 0 0 S L M 可 选（其 它 量 程 可 咨 询 定制），并配有液晶屏显示、数字和模拟输出，方 便 用 户 现 场 和 远 程 调 试 。该 产 品 成 本 低、易安装、不需要额外温度和压力补偿 。实验室气体流量计，氢气流量计，氦气流量计，热式气体质量流量计。

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M F C - E 系 列 质 量 流 量 控 制 器（ M a s s Flow Controller）是一款专为气体分析仪、质 谱 仪、配 气 仪 等 行 业 所 开 发 的 一 款 高 精 度、低 温 漂 、高 可 靠 性 的 气 体 质 量 流 量 控 制 器 产品 。该 产 品 配 备 有 高 精 度 流 量 传 感 器、高 端 电 磁 比 例 阀 、3 1 6 L 不 锈 钢 气 路 座 等，具 有 精 度高 、响 应 速 度 快 、稳 定 性 好 等 优 点 。操 作 使 用方 便 , 无 需 温 度 补 偿，压 力 不 敏 感 。输 出 和 控 制 信 号 包 含 ：0 - 5 V 模 拟 信 号 和 R S 4 8 5 数 字 通 信 方 式。

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S300系列数字质量流量控制器/流量计：采用公司自主研发的工业级先进流量传感器，结合精细抛光气路结构以及高精度数字控制电路和算 法，实 现 高 精 度、低 零 漂、高 重 复 性 控 制 。该 产品配备现场显示屏和地址编码开关，多种通讯方式可选、可定制全金属密封，完美适配半导体、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境 。

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