青岛芯笙微纳电子科技有限公司，作为半导体产业核心组件领域的革新典范，依托山东大学深厚的科研底蕴孵化创立，以突破性技术研发 为驱动，聚焦先进工业传感器芯片及系统集成技术的产业化应用。公司构建了涵盖高性能气体质量流量计/控制器、薄膜真空计、压力控制器等半导体产业链关键基础器件的完整产品矩阵，成功入选国家高新技术企业、山东省专精特新企业，构建起"自主创新+产学研协同+产业整合"三位一体的创新发展模式。
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青岛芯笙微纳电子科技有限公司
青岛芯笙微纳电子科技有限公司，作为半导体产业核心组件领域的革新典范，依托山东大学深厚的科研底蕴孵化创立，以突破性技术研发为驱动，聚焦先进工业传感器芯片及系统集成技术的产业化应用。公司构建了涵盖高性能气体质量流量计/控制器、薄膜真空计、压力控制器等半导体产业链关键基础器件的完整产品矩阵，成功入选国家高新技术企业、山东省专精特新企业，构建起"自主创新+产学研协同+产业整合"三位一体的创新发展模式。在技术攻关层面，青岛芯笙公司承担了2项国家重大研发计划专项及1项山东省重大创新工程项目，累计申请发明专利60余项，形成具有自主知识产权的技术体系。其研发团队汇聚了来自新加坡微电子研究院(IME)、德国卡尔斯鲁厄理工学院(KIT)等世界先进科研机构，以及山东大学、中科院、清华大学等国内优等学府经验丰富的专家，发挥出海外先进技术和本土产业化双轨人才架构优势。
青岛芯笙公司不仅在世界范围内带头将MEMS流量芯片技术应用于半导体制造领域，还成为了业界全链条实现从芯片设计、核心组件研发至智能仪表系统集成全产业链自主管理的科技头部企业。这种垂直整合能力使公司能够突破半导体设备关键部件的"阿喀琉斯之踵"，其创新成果可为国产半导体装备的自主可控提供关键技术支撑。作为国家半导体产业战略的重要创新载体，青岛芯笙公司正通过持续的技术迭代和产业化应用，致力于突破半导体产业链关键环节技术壁垒，以自主可控的核心技术助力半导体产业国产化实现跨越式发展。
陶继方
青岛芯笙董事长
青岛芯笙微纳电子科技有限公司 创始人、总经理
山东省泰山学者、齐鲁青年学者
主要教育和工作经历：
>2018年-至今山东大学
教授、博士生导师，电子系主任
>2014-2018 新加坡微电子研究院
二级研究员
>2013 -2014 歌尔股份中央研究院
高级工程师、VP助理
>2012 -2013 新加坡南洋理工大学
博士后
>2008 -2012 新加坡南洋理工大学
博士(联合培养)
>2007 -2012 北京邮电大学（南洋理工大学联培）
博士
>研究领域：智能传感器、纳米硅光子、纳米光机械等；
>创新成果：主持和参与了国家重点研发计划、“核高基”国家科技重大专项、军委装备发展部预研专项等项目，以及德国博世、泰和股份等企业联合技术攻关课题，发表专业学术论文60余篇，国际专利12项，中国发明专利18项；
>山东省“先进传感器联合实验室”主任、山东省重大科技创新工程“先进传感器”指南编写组组长、国家重点研发计划评委、军科技173重点基金首席科学家。
发展历程
History
MEMS真空计
全金属密封MFC S700 气体测控解决系统方案
2023
高可靠、耐腐蚀MEMS流量芯片开发
S500系列半导体级MFC 电子压力控制器 比例阀开发：50-500L/min量程
2022
高精度MEMS真空传感器开发
0-800slm流量计 0-10slm MFC MFM：50, T系列 MFC：E, T, UT系列
2021
气体流量传感器芯片量产
0-250slm 流量计 0-1slm MFC 微型数字风速计
2020
技术积累
国家项目支持(总投入超过7500万人民币) 新加坡科技局重点项目 国家重点研发计划 GF装发预研项目 山东省重大创新工程 山东省泰山学者资金
2014-2019
XINNOVIS全球
研发生产基地
研发生产面积
服务中心
青岛芯笙微纳在上海、苏州、深圳、福州等地拥有多个子公司与办事处。
